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FFU為英文縮寫(xiě),全稱(chēng)為 Fan Filter Units, 中文意思為“風(fēng)機濾網(wǎng)單元”。確切地說(shuō)是一自帶動(dòng)力、具有過(guò)濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝置。風(fēng)機從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)HEP過(guò)濾,過(guò)濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速均勻送出。
FFU概述
FFU工作時(shí)間長(cháng),低噪聲、免維護、震動(dòng)小、可無(wú)級調速,風(fēng)速均勻,安裝方便等。FFU可模塊化連接使用,使得FFU廣泛應用于無(wú)塵室、無(wú)塵操作臺、無(wú)塵生產(chǎn)線(xiàn)、組裝式無(wú)塵室和局部百級等應用場(chǎng)合。
FFU層流罩風(fēng)機濾網(wǎng)機組可模塊化連接使用,使用FFU廣泛應用于潔凈室、潔凈工作臺、潔凈生產(chǎn)線(xiàn)、組裝式潔凈室和局部百級等應用場(chǎng)合。
FFU層流罩設有初、高效兩級過(guò)濾網(wǎng)。風(fēng)機從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過(guò)濾器過(guò)濾,過(guò)濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45M/S±20%的風(fēng)速勻速送出。
FFU過(guò)濾單元采用美國*新技術(shù),適用于在各種環(huán)境中獲得別的潔凈環(huán)境。它為不同尺寸大小,不同潔凈度等級的潔凈室、微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。在新建潔凈室、潔凈廠(chǎng)房式改造翻新中,即可提高潔凈度級別,降低噪音和振動(dòng),也可大大降低造價(jià),安裝維護方便,是潔凈環(huán)境的理想部件。
FFU過(guò)濾單元說(shuō)明
FFU(Fan Filter Unit)是風(fēng)機和過(guò)濾器的組合,也可稱(chēng)為“自帶風(fēng)機的過(guò)濾設備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端,一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風(fēng)機模塊,下面部分為過(guò)濾器。根據潔凈度的要求,過(guò)濾器可為不同等級的高效(HEPA)或超高效(ULPA)過(guò)濾器,為潔凈室提供潔凈空氣。風(fēng)機模塊除了要克服FFU下部高效過(guò)濾器的阻力,還要克服整個(gè)循環(huán)風(fēng)所有通道部件的阻力,從而維持設定的運行風(fēng)速。FFU系統具有設計施工簡(jiǎn)便,風(fēng)速調節靈活,潔凈區易于變更等特點(diǎn),因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統形式之一,該機組設計整體靈活,便于與專(zhuān)用型吊頂骨架以及其他一些合適的骨架配合使用。當過(guò)濾器采用刀邊型框架時(shí),這種機組也可用于液槽密封吊頂骨架,根據設計的規格,他可輕而易舉配合任何吊頂骨架,達到潔凈等級要求。外框可選用鋁質(zhì)或不銹鋼,各具特色。采用這種機組,可以為潔凈室輸送高質(zhì)量的空氣,而且空氣流通好。它適合用于半導體、電子、平板顯示器和磁盤(pán)驅動(dòng)器的廠(chǎng)家及光學(xué)、生物工業(yè)及其他對空氣中污染有嚴格控制要求的地方。
一般萬(wàn)級無(wú)塵室所用的高效過(guò)濾器,它能對空氣中粒徑為0.3um的微粒子過(guò)濾效率達到99.99%,出風(fēng)風(fēng)速0.4m/s,更大不能有超過(guò)20KG以上的外力作用于過(guò)濾器上,以免破壞過(guò)濾器組織架構。
FFU具有特點(diǎn)
*:靈活性。
因為FFU是自帶動(dòng)力的,它不受區域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠(chǎng)房里,可根據需要,分區控制。而且,隨著(zhù)半導體生產(chǎn)工藝的變化,廠(chǎng)房布局必然要作相應調整,FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松,而且不會(huì )帶來(lái)二次投資。
第二:可再利用性。
從理論上講,一時(shí)不用的FFU設備,可以拆下來(lái),密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:負壓通風(fēng)。
這是FFU的獨特特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔凈廠(chǎng)房負壓。這樣,靜壓箱內的顆粒就不會(huì )受到壓力的作用泄漏到潔凈區里,使得密封變得很簡(jiǎn)單而且安全。
第四:縮短建設周期。
使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝,因為風(fēng)管在潔凈工程中,占掉很大的建設周期,任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來(lái)收益,選用FFU成為了一種可能。
第五:減少運行成本。
雖然在選用FFU時(shí),初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高,但它在后期運行中,突出的表現出節能、免維護等特點(diǎn)。